分辨率

5nm (30kV, SE Image)

放大倍率

30x~100,000x (有效放大倍率60,000x)

加速电压

5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)

图像

二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image

Observation mode

Standard Mode

电子枪系统

灯丝类型

预对中钨灯丝

偏压系统

自动偏压方式

电子枪校正

手动方式

透镜构成

聚光镜

2段式磁线圈透镜

物镜

1段式磁线圈透镜

探测器类型

E-T Detector

载物台系统

5轴操控,X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°,Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°

Image shift

X, Y Image Shift (100?)

样品尺寸

80mm in diameter, 35mm in height

图像扫描速度

快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

自动功能

自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节

图像存储方式

BMP, JPEG, PNG

数据显示

放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，文本，标尺等

真空系统

全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)

（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec

抽真空时间：3分钟以内

操控系统

鼠标和键盘

运行系统

电镜专用笔记本电脑

OS : Microsoft Window 7

CPU : Intel CoreTM i5 or High version

Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version

软件

图像文件打开，编辑，存储功能

长度，面积，角度等测量功能

设置数值初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等

体积

设备主机-390(W)×330(D)×560(H)mm……1set

控制主机-390(W)×315(D)×560(H)mm……1set

外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

重量

98kg

设备环境

温度：15℃~30℃

湿度：70% or less

电源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz